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名称:五乙氧基钽;tantalum pentaethoxide
      熔点21℃,沸点146℃(20Pa)。密度1.566。纯度≥99.99%。微黄色可燃的液体,是对水和空气敏感的化合物。制备方法有:(1)五氯化钽无水乙醇高纯氨反应;(2)无水乙醇与五甲氧基钽进行酯交换反应;(3)电化学法。提纯采用真空精馏法。主要用于CVD和Sol-Gel法制备高纯Ta2O5或含Ta2O5组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料的前体源。

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